PI高精度超聲波線性平臺適用于精密制造的工具

帶超聲波壓電電機的緊湊型線性平臺，PILine®級特別適用于需要快速精確定位的應用。當關閉時，自鎖驅動器保持舞臺機械穩定的位置。因此，能源消耗和熱量產生大大減少。電池供電或熱敏的低占空比應用受益于這些特性。軸的位置由編碼器和光學參考開關測量，允許可靠的可重復運動。壓電馬達驅動原理和它的電氣操作是便宜的，U-523微定位系統是具有線性編碼器的低輪廓，高精度平移臺。U-523級是超聲壓電電機驅動級中第二大的，U-521級是最小的。為了提高導向精度，U-523使用兩個交叉滾子軸承安裝在地面鋁型材上。

PI超聲波線性平臺U-523 PILine特點

快速定位

節省空間，重量輕

導向精度高

10 nm 的高傳感器分辨率

靜止時自鎖，不產生熱量

低噪音運行

PI精密級線性定位器

PILine®定位器特別適用于需要快速精確定位的應用。自鎖執行器在關閉時保持位置機械穩定。因此，可以顯著降低能耗和熱量產生。電池供電或熱敏的低占空比應用將受益于這些特性。軸位置由編碼器測量，光學參考開關允許可靠的可重復運動。壓電驅動原理及其電氣控制具有成本效益，可以設計為滿足客戶要求。

PI超聲波線性平臺U-523 PILine應用

顯微操作、自動化、生物技術、樣品操作、樣品定位、空間受限應用、真空應用多達 10 個-6hPa（可選）。

PI U-523.25技術參數

內置傳感器增量式線性編碼器

X 中的雙向重復性± 0.2 微米

X 中的最小步長0.1微米

傳感器分辨率10 納米

參考開關光學的

質量140 克

材料陽極氧化鋁

溫度范圍0 至 40 °C

PI高精度超聲波線性平臺適用于精密制造的工具